無塵車間
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無塵車間裝修工程的氣壓規定


無塵車間裝修工程施工是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為無塵車間工程。

對于大部分無塵車間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:

1.無塵車間的壓力要高于非無塵車間的壓力。

2.潔凈度級別高的無塵車間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的無塵車間的壓力。

壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

無塵車間中的氣流速度規定

這里要討論的氣流速度是指無塵車間內的氣流速度,在其他無塵車間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。

對于亂流無塵車間由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;

(1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。

(2)吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
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