無塵車間
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半導體行業萬級凈化工程
半導體行業萬級凈化工程
半導體行業萬級凈化工程|亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度,溫濕度及壓力等性能之特性.

半導體行業萬級凈化工程

 詳情說明
「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室凈化原理
氣流→初效空氣處理→空調→中效空氣處理→風機送風→凈化管道→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃(細菌)→ 回風夾道→新風、初效空氣處理。
重復以上過程,即可達到凈化目的。
無塵室技術參數
換氣次數:十萬級10-15次/小時;萬級15-25次/小時;千級50-52次/小時;百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa。 溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相對濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風補充量:總送風量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
無塵室結構材料
1.無塵室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。無塵室門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.無塵室地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。
3.無塵室凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF"阻燃型的保溫板做保溫。
無塵室及無塵室空氣中懸浮粒子潔凈度等級:
萬級凈化車間適用場合:
1.適用于半導體工業的成品儲藏室、組裝試驗室;
2.適用于精密儀器的組裝檢查室;
3.適用于醫藥行業的一般手術室、恢復室ECU、CCU;
4.適用于肉食加工車間等。
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